@prefix nllsh: <http://dati.lnb.lv/onto/subject/> .
@prefix skos: <http://www.w3.org/2004/02/skos/core#> .
@prefix dc: <http://purl.org/dc/terms/> .
@prefix xsd: <http://www.w3.org/2001/XMLSchema#> .

nllsh:LNC10-000342835
  skos:prefLabel "Elektronu kūļa litogrāfija"@lv, "EBL (electron beam lithography)"@en ;
  a skos:Concept ;
  skos:narrower nllsh:LNC10-000348865 .

nllsh:LNC10-000348865
  skos:inScheme nllsh: ;
  skos:prefLabel "Selektīva apstarošana ar elektronu staru"@lv, "Selective patterning"@en ;
  dc:identifier "LNC10-000348865" ;
  skos:broader nllsh:LNC10-000342835 ;
  dc:modified "2024-06-18"^^xsd:date ;
  skos:altLabel "Selektīva modelēšana"@lv ;
  a skos:Concept ;
  dc:created "2024-06-18"^^xsd:date ;
  skos:note "Source: Sniķeris, Ēriks. Mikro un nano struktūru iegūšana uz metālu un metālu kompozītmateriālu plāno kārtiņu virsmām ar fokusētu elektronu starojumu, 2022:" .

