Elektronu kūļa litogrāfija
type: Concept
created: 2024-01-02
modified: 2024-06-18
alternative label: Elektronová litografie @cs
alternative label: Electron beam lithography @en
alternative label: Lithography, Electron beam @en
alternative label: EKL (elektronu kūļa litogrāfija)
alternative label: Elektronu stara litogrāfija
alternative label: Elektronu staru litogrāfija
alternative label: Litogrāfija, elektronu kūļa
alternative label: Litogrāfija, elektronu staru
broader: Fotolitogrāfija
broader: Mikroelektronika
in scheme: subject
narrower: Selektīva apstarošana ar elektronu staru
note: Source: Latvijas Universitātes Cietvielu institūts - 2024.01.02.
preferred label: EBL (electron beam lithography) @en

Selektīva apstarošana ar elektronu staru
type: Concept
broader: Elektronu kūļa litogrāfija
preferred label: Selective patterning @en

Mikroelektronika
type: Concept
narrower: Elektronu kūļa litogrāfija
preferred label: Microelectronics @en

Fotolitogrāfija
type: Concept
narrower: Elektronu kūļa litogrāfija
preferred label: Photolithography @en