Elektronová litografie
Electron beam lithography
Lithography, Electron beam
EKL (elektronu kūļa litogrāfija)
Elektronu stara litogrāfija
Elektronu staru litogrāfija
Litogrāfija, elektronu kūļa
Litogrāfija, elektronu staru
Source: Latvijas Universitātes Cietvielu institūts - 2024.01.02.
EBL (electron beam lithography)
Elektronu kūļa litogrāfija
Selektīva apstarošana ar elektronu staru
Selective patterning
Mikroelektronika
Microelectronics
Fotolitogrāfija
Photolithography