Elektronu kūļa litogrāfija
type: Concept
narrower: Selektīva apstarošana ar elektronu staru
preferred label: EBL (electron beam lithography) @en

Selektīva apstarošana ar elektronu staru
type: Concept
created: 2024-06-18
modified: 2024-06-18
alternative label: Selektīva modelēšana
broader: Elektronu kūļa litogrāfija
in scheme: subject
note: Source: Sniķeris, Ēriks. Mikro un nano struktūru iegūšana uz metālu un metālu kompozītmateriālu plāno kārtiņu virsmām ar fokusētu elektronu starojumu, 2022:
preferred label: Selective patterning @en