Elektronu kūļa litogrāfija
EBL (electron beam lithography)
Selektīva modelēšana
Source: Sniķeris, Ēriks. Mikro un nano struktūru iegūšana uz metālu un metālu kompozītmateriālu plāno kārtiņu virsmām ar fokusētu elektronu starojumu, 2022:
Selektīva apstarošana ar elektronu staru
Selective patterning