Litogrāfija
type: Concept
narrower: Fotolitogrāfija
preferred label: Lithography @en

Fotolitogrāfija
type: Concept
created: 2011-10-12
modified: 2012-06-27
alternative label: optinen litografia (mikrovalmistus) @fi
broader: Litogrāfija
in scheme: subject
narrower: Elektronu kūļa litogrāfija
note: Source: Latvijas padomju enciklopēdija, 1983:
preferred label: Photolithography @en
related: Fotomehāniskie procesi
related: Fotorezisti

Fotomehāniskie procesi
type: Concept
preferred label: Photomechanical processes @en
related: Fotolitogrāfija

Fotorezisti
type: Concept
preferred label: Photoresists @en
related: Fotolitogrāfija

Elektronu kūļa litogrāfija
type: Concept
broader: Fotolitogrāfija
preferred label: EBL (electron beam lithography) @en