Litogrāfija
Lithography
optinen litografia (mikrovalmistus)
Source: Latvijas padomju enciklopēdija, 1983:
Photolithography
Fotolitogrāfija
Fotomehāniskie procesi
Photomechanical processes
Fotorezisti
Photoresists
Elektronu kūļa litogrāfija
EBL (electron beam lithography)