Iet uz galveno saturu

Meklēt vārdnīcā

Satura valoda

Koncepta informācija

... > Cietvielas > Kristāli > Pusvadītāji > Mikroelektronika > Elektronu kūļa litogrāfija > Selektīva apstarošana ar elektronu staru
Elektronika--Materiāli > Pusvadītāji > Mikroelektronika > Elektronu kūļa litogrāfija > Selektīva apstarošana ar elektronu staru

Prioritārais termins

Selektīva apstarošana ar elektronu staru  

Plašāks koncepts

Alternatīvie nosaukumi

  • Selektīva modelēšana

Piezīme

  • Source: Sniķeris, Ēriks. Mikro un nano struktūru iegūšana uz metālu un metālu kompozītmateriālu plāno kārtiņu virsmām ar fokusētu elektronu starojumu, 2022:

Identifikators

  • LNC10-000348865

Citās valodās

  • Selective patterning

    English

URI

http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000348865

Lejuplādējiet šo konceptu SKOS formā:

RDF/XML TURTLE JSON-LD Izveidots 6/18/24, Modificēts 6/18/24