Iet uz galveno saturu

Meklēt vārdnīcā

Satura valoda

Koncepta informācija

... > Zinātne > Dabaszinātnes > Fizikālās zinātnes > Elektronika > Mikroelektronika > Elektronu kūļa litogrāfija
Cietvielas > Kristāli > Pusvadītāji > Mikroelektronika > Elektronu kūļa litogrāfija
Elektronika--Materiāli > Pusvadītāji > Mikroelektronika > Elektronu kūļa litogrāfija

Prioritārais termins

Elektronu kūļa litogrāfija  

Alternatīvie nosaukumi

  • EKL (elektronu kūļa litogrāfija)
  • Elektronu stara litogrāfija
  • Elektronu staru litogrāfija
  • Litogrāfija, elektronu kūļa
  • Litogrāfija, elektronu staru

Piezīme

  • Source: Latvijas Universitātes Cietvielu institūts - 2024.01.02.

Identifikators

  • LNC10-000342835

Citās valodās

  • Elektronová litografie

    Czech

  • EBL (electron beam lithography)

    English

  • Electron beam lithography
  • Lithography, Electron beam

URI

http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000342835

Lejuplādējiet šo konceptu SKOS formā:

RDF/XML TURTLE JSON-LD Izveidots 1/2/24, Modificēts 6/18/24