Iet uz galveno saturu

Meklēt vārdnīcā

Satura valoda

Koncepta informācija

Šajā valodā šim konceptam nav termins

Cietvielas (lv) > Kristāli (lv) > Pusvadītāji (lv) > Mikroelektronika (lv) > Elektronu staru litogrāfija (lv)

Prioritārais termins

Elektronu staru litogrāfija (lv)  

Plašāks koncepts

Alternatīvie nosaukumi

  • Electron beam lithography
  • Lithography, Electron beam

Piezīme

  • Source: Latvijas Universitātes Cietvielu institūts - 2024.01.02.

Identifikators

  • LNC10-000342835

Citās valodās

URI

http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000342835

Lejuplādējiet šo konceptu SKOS formā:

RDF/XML TURTLE JSON-LD Izveidots 1/2/24, Modificēts 2/1/24