Koncepta informācija
Šajā valodā šim konceptam nav termins
Prioritārais termins
Elektronu staru litogrāfija (lv)
Plašāks koncepts
- Fotolitogrāfija (lv)
- Mikroelektronika (lv)
Piezīme
- Source: Latvijas Universitātes Cietvielu institūts - 2024.01.02.
Identifikators
- LNC10-000342835
Citās valodās
-
Elektronová litografie
Czech
-
Electron beam lithography
English
-
Lithography, Electron beam
-
Latvian
-
Litogrāfija, elektronu staru
URI
http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000342835
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}