Prioritārais termins
Elektronu kūļa litogrāfija
Plašāks koncepts
Plašāks konceptsŠaurāki koncepti
Šaurāki koncepti.Alternatīvie nosaukumi
Koncepta alternatīvie nosaukumi- EKL (elektronu kūļa litogrāfija)
- Elektronu stara litogrāfija
- Elektronu staru litogrāfija
- Litogrāfija, elektronu kūļa
- Litogrāfija, elektronu staru
Piezīme
Piezīmes- Source: Latvijas Universitātes Cietvielu institūts - 2024.01.02.
Identifikators
- LNC10-000342835
Citās valodās
Termini šim konceptam citās valodās.Czech
- Elektronová litografie
English
- EBL (electron beam lithography)
- Electron beam lithography
- Lithography, Electron beam
URI
http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000342835