Iet uz galveno saturu

Meklēt vārdnīcā

Satura valoda

Koncepta informācija

Cietvielas > Kristāli > Pusvadītāji > Mikroelektronika > Elektronu staru litogrāfija
Elektronika--Materiāli > Pusvadītāji > Mikroelektronika > Elektronu staru litogrāfija

Prioritārais termins

Elektronu staru litogrāfija  

Alternatīvie nosaukumi

  • Litogrāfija, elektronu staru

Piezīme

  • Source: Latvijas Universitātes Cietvielu institūts - 2024.01.02.

Identifikators

  • LNC10-000342835

Citās valodās

  • Elektronová litografie

    Czech

  • Electron beam lithography

    English

  • Lithography, Electron beam

URI

http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000342835

Lejuplādējiet šo konceptu SKOS formā:

RDF/XML TURTLE JSON-LD Izveidots 1/2/24, Modificēts 2/1/24