Prioritārais termins
Nanolitogrāfija
Plašāks koncepts
Plašāks konceptsAlternatīvie nosaukumi
Koncepta alternatīvie nosaukumi- Litogrāfija, nano-
Identifikators
- LNC10-000330147
Citās valodās
Termini šim konceptam citās valodās.English
URI
http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000330147