Prioritārais termins
Photolithography
Plašāks koncepts
Plašāks konceptsŠaurāki koncepti
Šaurāki koncepti.Piezīme
Piezīmes- Source: Latvijas padomju enciklopēdija, 1983:
Identifikators
- LNC10-000165410
Citās valodās
Termini šim konceptam citās valodās.Finnish
- optinen litografia (mikrovalmistus)
Latvian
URI
http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000165410