Skip to main content

Search from vocabulary

Content language

Concept information

Cietvielas > Kristāli > Pusvadītāji > Mikroelektronika > Elektronu staru litogrāfija
Elektronika--Materiāli > Pusvadītāji > Mikroelektronika > Elektronu staru litogrāfija

Preferred term

Elektronu staru litogrāfija  

Entry terms

  • Litogrāfija, elektronu staru

Note

  • Source: Latvijas Universitātes Cietvielu institūts - 2024.01.02.

Identifier

  • LNC10-000342835

In other languages

  • Elektronová litografie

    Czech

  • Electron beam lithography

    English

  • Lithography, Electron beam

URI

http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000342835

Download this concept:

RDF/XML TURTLE JSON-LD Created 1/2/24, last modified 2/1/24