Concept information
Preferred term
Elektronu kūļa litogrāfija
Broader concept
Narrower concepts
Entry terms
- EKL (elektronu kūļa litogrāfija)
- Elektronu stara litogrāfija
- Elektronu staru litogrāfija
- Litogrāfija, elektronu kūļa
- Litogrāfija, elektronu staru
Note
- Source: Latvijas Universitātes Cietvielu institūts - 2024.01.02.
Identifier
- LNC10-000342835
In other languages
-
Elektronová litografie
Czech
-
EBL (electron beam lithography)
English
-
Electron beam lithography
-
Lithography, Electron beam
URI
http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000342835
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}