Preferred term
EBL (electron beam lithography)
Broader concept
Broader conceptNarrower concepts
Narrower concepts.Entry terms
Alternative terms for the concept.- Electron beam lithography
- Lithography, Electron beam
Note
Notes- Source: Latvijas Universitātes Cietvielu institūts - 2024.01.02.
Identifier
- LNC10-000342835
In other languages
Terms for the concept in other languages.Czech
- Elektronová litografie
Latvian
- Elektronu kūļa litogrāfija
- EKL (elektronu kūļa litogrāfija)
- Elektronu stara litogrāfija
- Elektronu staru litogrāfija
- Litogrāfija, elektronu kūļa
- Litogrāfija, elektronu staru
URI
http://dati.lnb.lv/onto/subject/LNC10-000342835